公开号（公开）
CN119208377A
公开日期（公开）
2024.12.27
申请人（公开）
南京航空航天大学
发明人（公开）
刘衍朋; 王小钒; 王琴; 郭万林
IPC分类（公开）
H01L29/78;H01L21/336
CPC发明（公开）
H01L29/78391;H01L29/6684
一种具有25极化状态的层间铁电晶体管及其制备方法，属于铁电功能器件领域，本发明基于石墨烯/六方氮化硼(Gr/hBN)异质结构制备层间铁电晶体管，异质结Gr/hBN置于SiO2/Si衬底上，底层为hBN薄片，顶层为单层Gr，Gr和hBN之间的转角通过干法转移控制在1°以内；通过电子束曝光和电子束蒸镀工艺进一步制备Gr/hBN层间铁电晶体管；其能够在室温下实现超过25个稳定极化状态，并且能够进一步作为人工神经突触被应用于神经形态计算，展现出优异的计算准确性。
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